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高精度位移傳感器
高精度位移傳感器
2D CMOS激光型ZS-HL
2D CMOS激光型ZS-HL
超高性能傳感器支持大範圍準確(què)測(cè)量的核心質量
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詳(xiáng)情
超高性能傳感器支持大範圍準確(què)測(cè)量的核心質量
測(cè)量中心距離(lí)爲20 ~ 1,500 mm的各種型号。
最大分辨率達(dá)0.25 μm。
最大響(xiǎng)應速度達(dá)110 μs。
支持並行輸出。
 
超穩定性
最佳尺寸/穩定性
傳感器尺寸
重視性能的理想傳感器頭尺寸和3點式固定構造確(què)保出衆的傳感穩定性。(參(cān)見注釋)
 
注:ZS-HLDS2T 不可用。
卓越的移動分辨率
透視分辨率提升
通過提高受光透鏡的靈敏度和分辨率,使光學系統較優化,從(cóng)而大幅度降低移動(dòng)分辨率誤差(因工件表面位置引起的誤差)。
 
材質間誤差降低
2維CMOS
CCD在受光量過多時電荷會溢出至相鄰的像素。CMOS避免瞭(le)這種現象,不會受不同材質或受光過多導緻的光量變(biàn)動影響。
 
降低決定測(cè)量精度的不同物體之間(jiān)的差異。
因此,可以更方便地應用於(yú)檢測(cè)對象物。
 
1,500mm長(zhǎng)距離檢測(cè),可以測(cè)量以往無法測(cè)量的點。
 
注:此功能可能在明亮環(huán)境中無(wú)效。
 
可穩定測(cè)量傾斜工件和移動(dòng)工件。
 
專門爲ZS-HLDS2VT開發的非球面透鏡,採用的光學結構設計适用於正反射工件。顯著擴大瞭(le)允許傾斜的角度,並(bìng)提高瞭(le)測量透明工件和正反射工件的穩定性。
 
在半導(dǎo)體晶圓片、玻璃等要求精度高的測(cè)量上具有較佳優勢。
 
 
令人難以置信的測(cè)量精度0.25μm,同級産(chǎn)品的較高水平。
 
密封調和器的高度控制
 
HDD用電(diàn)機(jī)旋轉座的光盤播放檢查
 
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